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研磨液废水怎么处理|研磨液废水如何处理

项目流程经验 某中小型半导导致机构最靠近长三角经济圈形各地,最主要工作晶圆和治疗芯片。在工作期间中,晶圆切割工作和打蜡 过程发生非常多机磨液废污水,每日进行排股票放量约50吨。会因为废污一般的水都内含高溶液浓度浮悬物、金属件亚铁离子及有机肥料增长剂,间接进行摆放会对生态环境导致造成空气污染,机构急求的建设工程专业治疗公用设施。 生活污水基本成分及原因 研磨机液废水处理方法大部分源头于晶圆生产加工中的生物机制抛光剂(CMP)道工序,大部分环境破坏物属于: 悬停颗粒肥料物 :二被氧化的硅、被氧化的铝等粉磨粒状,粒度分布在0.1-1μm,含量自由高达2000mg/L。 轻金属阴离子 :铜、铁、锌等,出自于拋光垫磨花及晶圆表面上材料层,铜阴阳离子溶度约50mg/L。 有机会插入剂 :还有外面活性酶类剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。 强酸强含碱化学物质 :pH值跌涨大,大多数在2-11左右。 工作方法方法 面对生活污水性能指标,主要采用“预办理+生物化+厚度办理”组合名字加工: 的调节池 :均衡教育水硬度需水量,加酸碱性调理pH至弱酸性。 混凝土悠长岁月中 :加药系统PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),祛除自动隐藏物和悬浊液,沉降后SS祛除率>90%。 催化反应氧化反应 :主要采用Fenton化学制剂(H₂O₂+Fe²⁺)吸附有机的“食品添加剂的,COD快速清理率达60%。 怪物处理 :MBR膜微生物体现器进两步化学降解所剩有机酸物,COD降到100mg/L一些。 化合物交互 :专业化树脂材料粘附铜铁离子,溢水铜含锌量<0.5mg/L。 砂滤+特异性炭筛选 :为了确保水流清亮,完成《将污水终合尾气排放的规定的规定》(GB8978-1996)一个的规定。 然后功效 系统的电脑运行可靠后: SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴离子<0.3mg/L。 循环率达40%,多余达到标准的排污,年变少废气的排污1.八万吨。 加工处理成本低约15元/吨,远最低服务业评均。

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