半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
产品的背景
该各个企业主的为世界上技术型的半导体技术首测各个企业主的,靠近长三角地区型区域,注意开展舒适治疗器的划区和打包封装软件测试。伴随本市节能环保耍求苛刻,各个企业主的取决于进行废渣零进行排放过程中。建设项目于2030年重新启动,2024年6月成立投建,治疗规模化为200吨/日,总进行投资约2000多万元。
废渣因素及主要来源
某项最终目的小学划片工业废水兼有以下的优势:
高质量密度氟化物,具体存在晶圆分割后的冲洗制作工艺,氟铝离子质量密度高达mg150-200mg/L
有效nm级硅粉粒状,颗粒直径多在100-500nm彼此
有机的加热器端差较高,COD在500-800mg/L
富含微量分析血本属如铅、镉等
电阻率高,基本在2000-3000μS/cm
加工加工制作工艺 程序流程
为改变零污染物任务,艺开发注重注意焦化废水划分类别征集和影视资源二手回收:
化工废水定义获得系统化
:将含氟废液与某个废液连在一起搜集
检查是否奠定除氟
:进行两极钙盐乳浊液法,配合极有效率乳浊液池
层级钝化治疗
:O3离子液体阳极氧化降解塑料难治理 有机质物
膜精浓平台
:进行DTRO碟管式反覆盖,果汁7的倍数为10倍
化掉晶粒
:MVR厂家蒸汽发生器再缩小减压蒸馏器除理浓水
干澡模式
:将沉淀盐缺水后做为工业生产副服务外售
进行处理特效
系统化开机运行数据信息屏幕上显示:
氟化物取除率>99.9%,有水出氟阴阳离子<1mg/L
COD总弄掉率>98%,水流COD<20mg/L
水物资回收利用率>95%,仅诞生少量出结晶体盐
第年可收售高口感中水回用水约七万之吨
析出盐色度满足工业化的级标准规定,推动信息化使用
投资项目这样不仅保证了污废水 无废气排放口,还使用资源的收集塑造了约80万/年的上限利润。