该厂为8厘米晶圆的多个配套工程的超超纯水体统，时刻行成含硅废水工作150吨。废水工作中虽无血本属，但硅含氧量高易积垢，且内阻率需到18MΩ·cm才行回收利用。多余工作工艺设计时未能够满足新颁布法律的《微电子工业品水环境污染物质尾气排放口原则》（GB39731-2020）特备尾气排放口允许值。 化工废水成份特色 注意环保问题物 ：胶体溶液硅（200-300mg/L）、颗料硅（粒度0.1-1μm） 特别要 ：TOC<10μg/L，硼量<5μg/L 水质检测特征参数 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅化学物质性状僵化 操作加工过程方法 全新使用"梯级膜分离处理+电去阴离子"组合起来艺： 微滤预加工 ：1μm瓷砖膜截拦大粒状硅，通量稳定80LMH 化合物互换光敏树脂 ：D201大孔硅橡胶记忆性降解硅酸原子 一级RO装置 ：一是段收购率60%，第五段通过高脱硼膜器件 EDI电去阴离子 ：电流量溶解度2A/m²，长期清掉残余物正离子 分光光度计臭氧消毒 ：254nm红外光谱线使用量40mJ/cm² 技艺突出 发掘常用阻硅剂（设计胺类分手后复合物），延长膜被污染时期3倍 EDI输出模块科技创新流道设置，硅剔除率加快至99.8% 免费在线硅研究仪（校正区间0.1-500μg/L）变现脱贫掌控 使用取得成效 经三、方在线检测： 总硅从280mg/L降下来0.05mg/L 硼分子量从8μg/L降下来0.3μg/L 体系利用率从原40%优化至68% 膜拆换期提高至5年，年进行费用削减35%