某半导体材料治疗芯片手工制作厂在晶圆工艺阶段中,便用硅烷做好硅本质发育,废气洗條塔生产高浓值含硅电镀污废水 。电镀污废水 体现了pH起伏大(2-11)、硅量高的作用,一般治疗具体方法易会出现硅垢网络堵塞,网络响应过慢或许卡死大问题。
废渣基本成分及来自
化工废水大部分组分为:
溶水性硅酸盐
:SiO₂有机废气浓度达1000-1500mg/L
硝酸钠/氢阳极氧化钠
:洗衣塔腐蚀性洗衣液余留
小粒硅
:納米级SiO₂固体
痕量砷
:原辅材料不溶物带往
外理的工艺过程
的创新采取"多级与+膜滤出+减压蒸馏晶粒"加工:
3级中合
:用CaO调接pH至4-5,制成硅酸钙乳浊液,硅祛除率60%。
中级采和
:加Na₂CO₃将pH大幅提升至9,进的一步析出余量硅,并接用镁剂除砷。
反渗透膜软件
:0.02μm陶瓷制品膜滤水微米级硅颗粒状,通量稳定可靠在80LMH。
MVR化掉器
:沉淀高盐废液,晶体出Na₂SO₄副类产品,水使用率超90%。
终极功效
总硅从1500mg/L降落到5mg/L以内
砷份量从0.8mg/L高于0.01mg/L
系统的无结渣操作已超2年
常年再利用磷酸钠多晶体约800吨