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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体材料治疗芯片手工制作厂在晶圆工艺阶段中,便用硅烷做好硅本质发育,废气洗條塔生产高浓值含硅电镀污废水 。电镀污废水 体现了pH起伏大(2-11)、硅量高的作用,一般治疗具体方法易会出现硅垢网络堵塞,网络响应过慢或许卡死大问题。 废渣基本成分及来自 化工废水大部分组分为: 溶水性硅酸盐 :SiO₂有机废气浓度达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢阳极氧化钠 :洗衣塔腐蚀性洗衣液余留 小粒硅 :納米级SiO₂固体 痕量砷 :原辅材料不溶物带往 外理的工艺过程 的创新采取"多级与+膜滤出+减压蒸馏晶粒"加工: 3级中合 :用CaO调接pH至4-5,制成硅酸钙乳浊液,硅祛除率60%。 中级采和 :加Na₂CO₃将pH大幅提升至9,进的一步析出余量硅,并接用镁剂除砷。 反渗透膜软件 :0.02μm陶瓷制品膜滤水微米级硅颗粒状,通量稳定可靠在80LMH。 MVR化掉器 :沉淀高盐废液,晶体出Na₂SO₄副类产品,水使用率超90%。 终极功效 总硅从1500mg/L降落到5mg/L以内 砷份量从0.8mg/L高于0.01mg/L 系统的无结渣操作已超2年 常年再利用磷酸钠多晶体约800吨

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