某半导体器件造成公司企业因晶圆除污制作工序有含氨电镀废水,蓄水量200吨/天。电镀废水里面的除高锰酸盐指数外还具有氟化物和轻微高价属,外理难度系数大。偏远地区废气尾气排放标准规范追求高锰酸盐指数<5mg/L,氟化物<3mg/L。
生活污水组成及的来源
晶圆进行维护清洁废水处理(首要由来):含氯离子200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工艺流程化工废水:含少量铜、镍等天价属,pH值动荡大
CMP磨细废渣:含硅顆粒及氟化物
除理的工艺步骤
运用"无机化学积淀+膜溶合+折点氯化"女子组合工艺流程:
预正确处理
:加药CaCl2除氟,的控制pH在7.5-8.
超滤膜操作系统
:清掉0.01μm上面颗粒状物
反浸入浓缩咖啡
:将氟化物原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 至1000mg/L以下
折点氯化
:小于的控制氯加药系统量,将化学需氧量应用为离氮气
阴阳离子交互
:切实保障巨资属达到标准
不可能功效
化学需氧量稳定性<3mg/L,氟化物<1mg/L
血本属含量的少于探测限
水循环率达75%
废水所产生量缩短40%